请教各位关于近场分辨力和远场分辨力的问题。

过年了。小弟在此祝福大家新春快乐。。同时也请教个关于近场分辨力和远场分辨力的问题。。他们到底各自是指的什么含义？？？适用什么样的范围？？还有教材中所教的关于仪器探头组合所测定的分辨力。具体属于他俩当中的那种？？

教材中测试的是横向远场分辨力，横向分辨力测试声束宽度范围内分辨相邻缺陷的能力，能分辨间距越近的缺陷，分辨力越好，近场声束宽度基本同晶片大小，远场声束宽度为扩散声束，越远扩散越大，分辨力越差，教材中给出的是标准的测试方法，其实个人觉得，分辨力应表述为某一深度的分辨力更准确，可能有不当之处，望指正

假面 发表于 2015-2-16 09:15
教材中测试的是横向远场分辨力，横向分辨力测试声束宽度范围内分辨相邻缺陷的能力，能分辨间距越近的缺陷， ...

学习了。感谢指导。